STACIS主(zhu)動隔振系統妳了(le)解(jie)嗎？

為什(shen)麽要選擇主(zhu)動隔振系統？

▪ 從(cong)<1Hz開始(shi)強烈消除地面(mian)震(zhen)動，氣(qi)動平(ping)臺(tai)在(zai)這壹低(di)頻(pin)處無(wu)法起(qi)到有效的隔振

▪ 提高(gao)質(zhi)量、生產量

▪ 更(geng)加(jia)細小特色(se)的成(cheng)像(xiang)能(neng)力(li)

▪ 前(qian)沿研究(jiu)

▪ 比氣(qi)動平(ping)臺(tai)更(geng)穩(wen)定(ding)

▪ 滿(man)足SEM標準地點(dian)安(an)裝參(can)數(shu)的(de)**解決(jue)方(fang)案(an)

▪ 使得新實驗室及(ji)研(yan)究(jiu)設(she)備(bei)的工程造(zao)價(jia)更(geng)低(di)

主(zhu)動隔振系統為何(he)選擇STACIS

▪ 正(zheng)中(zhong)了(le)科研者(zhe)的(de)的心(xin)聲(sheng)，提供(gong)了盡(jin)可能(neng)**的無(wu)震(zhen)環境(jing)。

▪ 市(shi)場(chang)上(shang)**強勁的低(di)頻(pin)隔振系統。

▪ 目前(qian)所有的SEM廠(chang)商(shang)都(dou)公(gong)布了(le)安(an)裝參(can)數(shu)要(yao)求，其(qi)需(xu)要(yao)的(de)震(zhen)動參(can)數(shu)需(xu)要主動隔振系統才能(neng)滿(man)足。

▪ STACIS**發(fa)明(ming)於1990s，經(jing)TMC進(jin)壹步發(fa)展(zhan)，開發(fa)和安(an)裝了(le)數(shu)以(yi)千計(ji)的(de)主動隔振系統，這是(shi)主(zhu)動隔振控(kong)制(zhi)領域的(de)提(ti)供的可(ke)靠解(jie)決(jue)方(fang)案(an)。

STACIS相(xiang)比氣(qi)動隔離器(qi)剛性大(da)幾(ji)百(bai)倍(bei)

穩(wen)定(ding)時(shi)間(jian)作(zuo)為對擾(rao)動的(de)響(xiang)應(ying)，由於串(chuan)聯(lian)式(shi)設(she)計(ji)，而大(da)大(da)縮(suo)短(duan)，理(li)想應用(yong)於(yu)機(ji)械制(zhi)造(zao)、動態(tai)負載、激光(guang)或者光源(yuan)需要安(an)裝的(de)獨(du)立(li)剛性臺面(mian)的情況(kuang)下(xia)。

如(ru)下(xia)優(you)勢在業(ye)內(nei)都(dou)是(shi)**的(de)

▪ STACIS的主(zhu)動隔振帶寬為0.6Hz -150Hz

▪ 6個自由度的(de)主動震(zhen)動消除，在1Hz時(shi)隔振8-10dB 

▪ 從(cong)2-3Hz時(shi)，隔振可達(da)90% (20dB) 

專(zhuan)業(ye)的環(huan)境(jing)調查

1、安(an)裝前(qian)後的環(huan)境(jing)調查，包(bao)括震(zhen)動、磁(ci)場(chang)、聲(sheng)波

2、安(an)裝後可提(ti)供環(huan)境(jing)系(xi)統體系(xi)認(ren)證(zheng)

▪ 完善(shan)的(de)環境(jing)調查服務(wu)

▪ 開具專(zhuan)業(ye)環境(jing)報(bao)告(gao)

▪ 提供震(zhen)動、磁(ci)場(chang)、聲(sheng)波檢(jian)測及(ji)解(jie)決(jue)方(fang)案(an)

▪ TMC基於其(qi)廣(guang)泛(fan)經(jing)驗向用(yong)戶(hu)推薦(jian)實用(yong)性方案(an) 

▪ 40多(duo)年(nian)的(de)行業(ye)經(jing)驗，業內(nei)的(de)**

STACIS用(yong)戶(hu)及(ji)應(ying)用(yong)領域

1、微(wei)電(dian)子(zi)、半導(dao)體

▪ 晶(jing)片(pian)檢測

▪ 顯微(wei)光(guang)刻(ke)技術

▪ 掩膜(mo)校準

2、科(ke)學(xue)研究(jiu)、納米技術

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3、激(ji)光(guang)臺

▪ 生(sheng)命(ming)科學、藥(yao)物研發(fa)

4、工業應用(yong)

▪ 精密(mi)加工

應用(yong)照(zhao)片