SEM主動(dong)隔(ge)振平臺的(de)作(zuo)用(yong)與(yu)使用(yong)要(yao)求

SEM-Base® VI是下(xia)壹代(dai)STACIS主動(dong)壓電消振(zhen)產(chan)品(pin)。SEM-Base VI被(bei)設計(ji)用(yong)於(yu)支(zhi)撐(cheng)所有商用(yong)掃(sao)描電子(zi)顯(xian)微鏡(jing)（SEM）以及許多聚(ju)焦(jiao)離(li)子(zi)束(shu)（FIB）和(he)小(xiao)型(xing)雙(shuang)光(guang)束(shu)儀(yi)器(qi)。SEM-Base VI具(ju)有更(geng)好(hao)的(de)隔(ge)振性能(neng)、更(geng)快、更(geng)強(qiang)大(da)的(de)控制(zhi)器(qi)和(he)**圖形(xing)用(yong)戶(hu)界(jie)面(mian)（GUI）。SEM-Base VI使許多實(shi)驗室(shi)和(he)設施達(da)到(dao)了(le)滿足(zu)工具制(zhi)造商(shang)規(gui)格(ge)所需的(de)地(di)面(mian)振動(dong)水(shui)平。 

SEM-Base VI采(cai)用(yong)“串(chuan)行結構(gou)"，其(qi)中的(de)振動(dong)傳(chuan)感(gan)器(qi)測量(liang)地(di)面(mian)振動(dong)，而(er)不(bu)是有效載荷振動(dong)。與(yu)其他設計不(bu)同(tong)，這確(que)保了(le)有效載荷共振(zhen)不(bu)會(hui)限(xian)制(zhi)隔振(zhen)或(huo)造成不(bu)穩定(ding)。振(zhen)動(dong)傳(chuan)感(gan)器(qi)是低(di)頻慣(guan)性(xing)速(su)度(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)，在(zai)難(nan)以測量(liang)的(de)亞(ya)Hz範圍(wei)內(nei)具有**靈(ling)敏度(du)。結合壓電致動(dong)器(qi)技(ji)術(shu)，SEM-Base VI即使(shi)在(zai)安靜的(de)地(di)面(mian)上(shang)也能(neng)實現*高(gao)的(de)消振(zhen)水(shui)平。 

SEM-Base VI可提(ti)供(gong)與以前型(xing)號(hao)平均高(gao)6 dB的隔(ge)振(zhen)。此(ci)外(wai)，TMC的下(xia)壹代(dai)控制(zhi)器(qi)DC-2020采(cai)用(yong)了(le)新(xin)的(de)雙(shuang)核(he)處(chu)理(li)器(qi)，為(wei)工具所有者和(he)研(yan)究(jiu)人(ren)員(yuan)提(ti)供(gong)了(le)壹個(ge)非常簡(jian)單(dan)易用(yong)的(de)圖形界(jie)面(mian)，可實現(xian)快速(su)系(xi)統(tong)評估和(he)安全操(cao)作。通過以太網連(lian)接時，DC-2020將在(zai)用(yong)戶(hu)的瀏(liu)覽(lan)器(qi)中(zhong)創(chuang)建(jian)SEM-Base GUI，無(wu)需安裝(zhuang)其(qi)他(ta)軟(ruan)件或(huo)應用(yong)程(cheng)序。此(ci)外(wai)，用(yong)戶(hu)也可以通過板載菜單(dan)驅動(dong)的(de)液(ye)晶顯示(shi)器(qi)（LCD）與(yu)控(kong)制(zhi)器(qi)連(lian)接。

註(zhu)意(yi)：請(qing)參(can)見(jian)SEM-Closure，這(zhe)是壹種專(zhuan)為保護SEM而(er)設計(ji)的(de)整體環(huan)境解(jie)決方(fang)案(an)。它可以將SEM-Base和(he)Mag-NetX® 固(gu)定(ding)在(zai)壹個(ge)密封(feng)和(he)溫(wen)控(kong)聲學(xue)室(shi)中(zhong) - 從而(er)保護SEM免受(shou)振(zhen)動(dong)、磁場幹(gan)擾(rao)和(he)聲學(xue)噪(zao)聲的(de)影(ying)響。

尺(chi)寸(cun)與環(huan)境要(yao)求