CMOS測試(shi)和(he)校準(zhun)

傳(chuan)感器(qi)和成像(xiang)儀校準(zhun)

標(biao)定CMOS，通常將待(dai)測(ce)物放於(yu)積分(fen)球(qiu)的出(chu)口(kou)，並(bing)且需(xu)要屏蔽積分(fen)球(qiu)內(nei)燈的直(zhi)接(jie)照射(she)。積分(fen)球(qiu)開口(kou)端(duan)光源(yuan)是通過多次漫(man)反(fan)射(she)間接(jie)提供(gong)的，從(cong)而(er)使(shi)其有效區暴(bao)露在(zai)壹個均勻(yun)輻照度(du)下(xia)。

積分(fen)球(qiu)出(chu)口(kou)處(chu)的照(zhao)度(du)是經校準(zhun)的，在(zai)測(ce)試過程中(zhong)，連(lian)接(jie)在積分(fen)球(qiu)上的監(jian)測探測(ce)器(qi)通過輻射(she)計給出(chu)照(zhao)度(du)讀數。評(ping)估設備對已(yi)知(zhi)均勻(yun)照(zhao)度(du)的響(xiang)應(ying)，以(yi)驗證是否符(fu)合規範，或識(shi)別和(he)糾(jiu)正工藝問題(ti)。

在這(zhe)種(zhong)方法中(zhong)可(ke)以(yi)使(shi)用(yong)不(bu)同(tong)類(lei)型的光(guang)源(yuan)。積分(fen)球(qiu)可以(yi)用(yong)調節的白(bai)熾(chi)燈照(zhao)明，或者(zhe)光(guang)源可以(yi)設計成模擬特定的光(guang)譜(pu)分(fen)布(bu)，例如(ru)平(ping)均日(ri)光(guang)。積分(fen)球(qiu)也(ye)可(ke)與單色儀(yi)耦(ou)合，用(yong)於(yu)光(guang)譜表征(zheng)。

Labsphere的均勻(yun)光(guang)源積分(fen)球(qiu)和積分(fen)球(qiu)均勻(yun)光(guang)源系(xi)統(tong)可(ke)測(ce)試(shi)用(yong)於(yu)光(guang)伏(fu)或(huo)光導應(ying)用(yong)的半(ban)導體(ti)晶(jing)圓和器(qi)件的響(xiang)應(ying)性(xing)和(he)/或(huo)量(liang)子(zi)效率(lv)。