CleanTop光(guang)學(xue)平臺(tai)支(zhi)撐(cheng)系(xi)統

CleanTop光(guang)學(xue)平臺(tai)支(zhi)撐(cheng)系(xi)統

TMC為我們的CleanTop光(guang)學(xue)平臺(tai)和(he)面(mian)包(bao)板(ban)提(ti)供各(ge)種(zhong)各(ge)樣(yang)的支(zhi)腿(tui)系(xi)統。

通(tong)常(chang)，光(guang)學(xue)平臺(tai)和(he)面(mian)包(bao)板(ban)放置在通(tong)過拉(la)桿(gan)連(lian)接(jie)在(zai)壹(yi)起(qi)的氣動或(huo)剛性(xing)支(zhi)架(jia)上(shang)。這是(shi)我們(men)Micro-g系(xi)列的支(zhi)撐(cheng)系(xi)統。

對(dui)於(yu)極其(qi)敏(min)感(gan)的應(ying)用(yong)，特別(bie)是(shi)低於(yu)5 Hz的地(di)板(ban)振動，我們推薦使(shi)用(yong)主動(dong)壓(ya)電(dian)和混(hun)合(he)解(jie)決方案 - STACIS III和LaserTable-Base。

概述

LaserTable-Base™是(shi)現(xian)有(you)光(guang)學(xue)平臺(tai)隔振技術(shu)的壹(yi)大(da)飛躍(yue)。通(tong)常(chang)，光(guang)學(xue)平臺(tai)由(you)低頻(pin)氣動隔振系(xi)統支(zhi)撐(cheng)。雖(sui)然在(zai)隔離(li)高頻(pin)方面非常(chang)有(you)效，但(dan)這些被動(dong)系(xi)統實(shi)際(ji)上(shang)放(fang)大(da)了關(guan)鍵的1至3 Hz範圍(wei)內的振動。

TMC的STACIS通(tong)過結合壓(ya)電(dian)致動(dong)器(qi)和(he)慣(guan)性(xing)振動傳(chuan)感(gan)器(qi)的專(zhuan)有(you)技術(shu)克(ke)服了(le)這些限制，可(ke)消(xiao)除(chu)而不(bu)會(hui)放大(da)極低頻(pin)振動。LaserTable-Base將(jiang)這兩(liang)項技術(shu)（空(kong)氣和STACIS）整(zheng)合(he)到壹(yi)個(ge)集成的消(xiao)振系(xi)統中。由(you)於(yu)兩(liang)個(ge)串(chuan)聯隔振系(xi)統的綜(zong)合(he)效應，這實(shi)現(xian)了低頻(pin)率(lv)消振和**的高頻(pin)隔振水平。

LaserTable-Base的上(shang)部(bu)氣動部(bu)分(fen)采(cai)用(yong)模(mo)塊化設(she)計，可互換(huan)。它(ta)可(ke)以(yi)結合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空(kong)氣隔振器(qi)或(huo)剛性(xing)、非隔振支(zhi)架(jia)，具體(ti)取決於(yu)應用(yong)要(yao)求。

規(gui)格(ge)

▪ 采用(yong)STACIS®技術(shu)

▪ 主動(dong)慣(guan)性(xing)消振系(xi)統

▪ 消(xiao)振從低於(yu)1 Hz開(kai)始

▪ 加(jia)長行程的壓(ya)電(dian)致動(dong)器(qi)，高達(da)60微(wei)米(mi)。

▪ 6個主動(dong)自由(you)度

▪ 由(you)兩(liang)個(ge)串(chuan)聯隔振系(xi)統組成，可(ke)實現(xian)**隔振效果

▪ 采用(yong)MaxDamp®空(kong)氣隔振器(qi)

▪ 簡(jian)單、堅(jian)固(gu)且(qie)經濟高效

▪ 可選(xuan)的擱(ge)板(ban)，用(yong)於(yu)在(zai)工(gong)作臺(tai)下(xia)方安裝(zhuang)設備(bei)

▪ 包括(kuo)TMC的DC-2020數(shu)字(zi)控制器(qi)

CleanTop光(guang)學(xue)平臺(tai)支(zhi)撐(cheng)系(xi)統 性(xing)能

將(jiang)低頻(pin)、被(bei)動(dong)MaxDamp®空(kong)氣隔振器(qi)與(yu)壓(ya)電(dian)主動(dong)消振系(xi)統串(chuan)聯在(zai)壹起(qi)，可(ke)得(de)到(dao)整(zheng)體(ti)傳(chuan)遞率(lv)曲線(xian)，即兩(liang)條(tiao)單獨(du)傳(chuan)遞率(lv)曲線(xian)的總(zong)和(he)。由(you)此(ci)產(chan)生(sheng)的隔振性(xing)能非(fei)常(chang)顯(xian)著(zhu)，在(zai)某(mou)些頻(pin)率(lv)範圍(wei)內，我們(men)受到測量儀器(qi)噪聲基(ji)底(di)的限(xian)制。並且(qie)無法(fa)測量和演(yan)示(shi)完(wan)整(zheng)的隔振性(xing)能。也(ye)就(jiu)是說，在(zai)10-12 Hz以(yi)上(shang)，組合系(xi)統的實(shi)際(ji)性(xing)能預計將(jiang)超(chao)過所示(shi)性(xing)能，因為組合隔振理論(lun)上(shang)是(shi)兩個子系(xi)統所提(ti)供的隔振的總(zong)和(he)。

應用(yong)照(zhao)片(pian)