顯微分光膜厚(hou)儀（OPTM系列(lie)）

顯微分光膜厚(hou)儀（OPTM系列(lie)）

測(ce)量(liang)目標膜的(de)**反射(she)率，高(gao)精(jing)度(du)測量膜厚(hou)和(he)光(guang)學常(chang)數(shu)！非(fei)接(jie)觸(chu)·非(fei)破壞(huai)·顯微

測(ce)量時(shi)間(jian)僅(jin)1秒!

OPTM系(xi)列(lie)使(shi)用(yong)顯微光(guang)譜法在微小(xiao)區(qu)域(yu)內(nei)通過**反射(she)率進(jin)行(xing)測量(liang)，可(ke)進(jin)行(xing)高(gao)精(jing)度(du)膜厚(hou)度(du)/光學常(chang)數(shu)分析。通(tong)過非(fei)破壞(huai)性和(he)非(fei)接(jie)觸(chu)方(fang)式測量(liang)塗膜的(de)厚(hou)度(du)，例如(ru)各種膜、晶(jing)片(pian)、光學材(cai)料(liao)和(he)多(duo)層膜。 測(ce)量(liang)時間(jian)上(shang)，能達(da)到1秒/點(dian)的高(gao)速(su)測量(liang)，並且(qie)搭載了即(ji)使(shi)是(shi)初(chu)次(ci)使用(yong)的用戶，也(ye)可(ke)容易(yi)出分析光(guang)學常(chang)數(shu)的(de)軟(ruan)件

產(chan)品特(te)點(dian)：

頭部集成了薄(bo)膜厚(hou)度(du)測量所(suo)需(xu)功(gong)能(neng)

通過顯微光(guang)譜法測量高(gao)精(jing)度(du)**反射(she)率（多(duo)層(ceng)膜厚(hou)度(du)，光學常(chang)數(shu)）

1點(dian)1秒高(gao)速(su)測量(liang)

顯微分光下廣(guang)範圍(wei)的光學系(xi)統（紫外***近(jin)紅(hong)外）

區(qu)域傳感(gan)器(qi)的(de)安(an)全(quan)機制(zhi)

易(yi)於分析向導，初學者(zhe)也能(neng)夠進行(xing)光學常(chang)數(shu)分析

獨(du)立(li)測量(liang)頭對應(ying)各(ge)種inline客(ke)制(zhi)化需(xu)求(qiu)

支持(chi)各(ge)種自(zi)定(ding)義(yi)

測量(liang)項目：

**反射(she)率測(ce)量(liang)

多(duo)層膜解(jie)析(xi)

光(guang)學常(chang)數(shu)分析（n：折(zhe)射(she)率，k：消光系(xi)數(shu)）

應(ying)用(yong)：

半導(dao)體：晶(jing)圓(yuan)樣品的(de)自動(dong)調整(zheng)，晶圓(yuan)的彎(wan)曲檢測

光學元(yuan)器件：鏡(jing)頭鏡(jing)片(pian)的(de)放射(she)率，彎(wan)曲等(deng)檢測

顯微分光膜厚(hou)儀（OPTM系列(lie)） 產(chan)品規(gui)格(ge)型(xing)號：