STACIS® III是(shi)壹種(zhong)靈(ling)活(huo)主動隔(ge)振(zhen)系(xi)統(tong)。STACIS采用先(xian)進(jin)的慣(guan)性振(zhen)動傳感(gan)器、先(xian)進(jin)的控(kong)制算(suan)法(fa)和壓電致(zhi)動器(qi)，通(tong)過(guo)連續(xu)測(ce)量地(di)面活(huo)動，然(ran)後(hou)擴(kuo)展(zhan)和收縮壓電致(zhi)動器(qi)來(lai)過(guo)濾地(di)面運(yun)動，以(yi)實(shi)時(shi)消除振(zhen)動。
STACIS**初(chu)設(she)計(ji)用(yong)於(yu)隔(ge)離先進(jin)半(ban)導體工(gong)廠中的精(jing)密(mi)微(wei)光刻、計(ji)量和(he)檢(jian)測(ce)設(she)備，現已成為(wei)嘈雜(za)環(huan)境(jing)（包(bao)括但不(bu)限於(yu)半導(dao)體(ti)工廠、失效分(fen)析(xi)實驗室(shi)、納米(mi)技(ji)術(shu)研究、納(na)米制造(zao)設(she)施和(he)材(cai)料(liao)研究中心）中**敏感(gan)儀(yi)器(qi)的行(xing)業標準(zhun)解(jie)決方案。
STACIS III包括壹個全(quan)新(xin)的改(gai)進(jin)型(xing)數字控(kong)制器(qi)DC-2020。這(zhe)款(kuan)全(quan)新(xin)的**控(kong)制系(xi)統(tong)在前後面板上采(cai)用(yong)了新(xin)的雙(shuang)核處理(li)器(qi)、以(yi)太(tai)網(wang)以(yi)及(ji)USB串(chuan)行(xing)端(duan)口(kou)，為(wei)用戶提(ti)供(gong)了現代化且(qie)易(yi)於(yu)使(shi)用的圖(tu)形用戶(hu)界面（GUI）。STACIS在全(quan)球(qiu)已(yi)擁(yong)有數(shu)百個成功(gong)的安(an)裝案例，是(shi)理想(xiang)的隔(ge)振(zhen)系(xi)統(tong)，適用於(yu)對(dui)振(zhen)動**為(wei)敏感的儀(yi)器。
主動隔(ge)振(zhen)平(ping)臺系(xi)統(tong)STACIS III的優(you)勢
STACIS比空(kong)氣隔振(zhen)器(qi)硬數百倍，沒(mei)有任何(he)空(kong)氣隔振(zhen)系(xi)統(tong)的局(ju)限性。它(ta)沒(mei)有“軟"懸架，與主動空(kong)氣系統(tong)不(bu)同，STACIS可(ke)以(yi)放置(zhi)在(zai)帶(dai)有內(nei)部主(zhu)動空(kong)氣隔振(zhen)系(xi)統(tong)的工(gong)具下(xia)方(fang)，使(shi)兩(liang)個系(xi)統(tong)都(dou)在**狀(zhuang)態下(xia)運(yun)行(xing)。
串(chuan)行(xing)設(she)計(ji)和(he)專(zhuan)有(you)的高(gao)力壓電技(ji)術(shu)，可(ke)實現0.6 Hz***150 Hz的寬(kuan)主動帶(dai)寬(kuan)和(he)從2 Hz開(kai)始(shi)減(jian)振(zhen)90％的**主(zhu)動隔(ge)振(zhen)性能(neng)。
主(zhu)動隔(ge)振(zhen)平(ping)臺系(xi)統(tong)STACIS III特(te)征
▪ **新(xin)改(gai)進(jin)型(xing)DC-2020數字控(kong)制器(qi)，提(ti)供(gong)易(yi)於(yu)使用(yong)的圖(tu)形用戶(hu)界面
▪ 隔振(zhen)開(kai)始(shi)於(yu)0.6赫茲，1Hz時(shi)達(da)到(dao)40％***70％的隔(ge)離率(lv)
▪ 頻(pin)率(lv)2赫(he)茲和更高(gao)時(shi)，垂(chui)直(zhi)和水(shui)平(ping)隔振(zhen)率(lv)大(da)於(yu)90％
▪ 降(jiang)低(di)基礎設(she)施的要(yao)求和建設(she)成本，即(ji)使有(you)較(jiao)大(da)外(wai)界震動設(she)備也可(ke)正(zheng)常運(yun)行(xing)
▪ 有(you)效(xiao)隔(ge)振(zhen)範圍，0.6Hz到150Hz
▪ 獲(huo)得眾多(duo)用戶(hu)的廣(guang)泛認可(ke)和肯(ken)定
▪ 6向自(zi)由(you)度(du)硬安裝設(she)計(ji)，無(wu)需(xu)空(kong)氣懸架
▪ 強(qiang)大(da)的控(kong)制系(xi)統(tong)無需定期重(zhong)新(xin)校(xiao)準(zhun)
▪ point-of-use設(she)計(ji)方(fang)案，與客(ke)戶現有隔(ge)振(zhen)系(xi)統(tong)無縫兼容(rong)
▪ 隨著(zhe)外(wai)部(bu)環(huan)境(jing)改(gai)變(bian)，系統(tong)自(zi)動調(tiao)節(jie)以(yi)適(shi)應不(bu)同外(wai)部(bu)震(zhen)動情(qing)形
▪ TMC的STACIS®技(ji)術使用(yong)壓電執(zhi)行(xing)器(qi)主(zhu)動消振(zhen)
▪ 數(shu)字(zi)控制器(qi)與基於PC的圖(tu)形用戶(hu)界面（GUI）
▪ 提(ti)高客(ke)戶產(chan)品產(chan)量、質量、成品率(lv)。
▪ 符合RoHS標準(zhun)
▪ **寬(kuan)的主(zhu)動隔(ge)振(zhen)帶(dai)寬(kuan)，**的低(di)頻隔振(zhen)效(xiao)果
▪ 亞赫茲的主(zhu)動震(zhen)動消除，**主要在0.6-6Hz頻(pin)段內(nei)的隔(ge)振(zhen)
▪ 可(ke)堆疊(die)式設(she)計(ji)
▪ 主(zhu)動硬式安(an)裝結(jie)構、而非軟(ruan)式懸(xuan)浮(fu)、無(wu)低(di)頻漂移、主(zhu)動元(yuan)件與剛(gang)性彈(dan)簧相連
▪ 被動彈(dan)簧濾除了來(lai)自(zi)STACIS傳感(gan)器的負(fu)載諧(xie)振(zhen)，需(xu)要(yao)的調(tiao)諧(xie)非常(chang)少，甚***無(wu)需(xu)調諧(xie)
▪ 由(you)於(yu)阻(zu)抗(kang)不(bu)匹配，可(ke)兼容(rong)儀器(qi)內部隔離器
▪ 負載可(ke)達(da)2000kg
▪ 市(shi)場(chang)上**的主(zhu)動隔(ge)振(zhen)系(xi)統(tong)
主動隔(ge)振(zhen)平(ping)臺性能(neng)
使用VC-C（500 μ英(ying)寸/秒(miao)，12.5 μ米/秒(miao) RMS）的模(mo)擬振(zhen)動來(lai)測(ce)試4500磅（2045千(qian)克(ke)）有效(xiao)載荷(he)
主動隔(ge)振(zhen)平(ping)臺規格
性能(neng)規格
| 主動自(zi)由(you)度(du) | 6 |
| 主(zhu)動帶(dai)寬(kuan) | 0.6 Hz - 150 Hz |
| 被動固(gu)有頻(pin)率(lv) | 18 Hz垂(chui)直(zhi)和(he)水(shui)平(ping) |
| 有效(xiao)的主(zhu)動共(gong)振(zhen)頻(pin)率(lv) | 0.5 Hz |
| 1 Hz時(shi)的隔(ge)振(zhen) | 40% - 70% |
| ≥2 Hz時(shi)的隔(ge)振(zhen) | ≥90% |
| 10磅（4.5千(qian)克(ke)）步進(jin)輸(shu)入(ru)後的穩(wen)定時(shi)間(jian)（減少10:1） | 0.3秒(miao) |
| 內部(bu)噪音 | <0.1 nm RMSd> |
| 每個隔(ge)振(zhen)器(qi)的工(gong)作負載範圍 | 低(di)承重(zhong)能力：400 - 1100磅（181 - 499千(qian)克(ke)） |
| 中等承重(zhong)能力：900 - 2100磅（408 - 953千(qian)克(ke)） | |
| 高承重(zhong)能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千(qian)克(ke)） | |
| 剛(gang)度(du)（1000磅 / 454千(qian)克(ke)質量、中等承重(zhong)能力隔振(zhen)器(qi)） | 40,000磅/英(ying)寸(73 x 105牛(niu)/米(mi)) |
| 從(cong)距(ju)離隔振(zhen)器(qi)**4英(ying)寸（102毫(hao)米）處發(fa)射的磁(ci)場(chang) | <0.02 μG broadband RMSd> |
隔振(zhen)器(qi)設(she)計(ji)、尺寸、環(huan)境(jing)和(he)效用要(yao)求
| 環(huan)境(jing)和(he)安全(quan) | 符合CE和RoHS標(biao)準(zhun) |
| 主(zhu)動隔(ge)振(zhen)元(yuan)件 | **小承重(zhong)能力為(wei)3300磅（1500千(qian)克(ke)）的壓電致(zhi)動器(qi)接(jie)收(shou)來(lai)自(zi)高壓放大(da)器(qi)的信(xin)號，其(qi)輸(shu)出(chu)高(gao)達(da)800 VDC。垂(chui)直執(zhi)行(xing)器(qi)支(zhi)撐(cheng)隔振(zhen)的有(you)效載荷(he) |
| 被動隔(ge)振(zhen)元(yuan)件 | 單(dan)個硬質各向同性彈(dan)性體(ti)（無(wu)需壓縮空(kong)氣源） |
| 振(zhen)動傳感(gan)器元(yuan)件 | 向下的地(di)震檢(jian)波器型(xing)慣(guan)性傳感(gan)器，用(yong)於測(ce)量隔(ge)振(zhen)器(qi)下(xia)方的地(di)面振(zhen)動，並(bing)提(ti)供(gong)與振(zhen)動運(yun)動速度成正(zheng)比的電壓 |
| 主動反(fan)饋控(kong)制回(hui)路 | 在支(zhi)撐(cheng)隔振(zhen)表面的彈(dan)簧下方(fang)測量、處理(li)和(he)衰減地面振(zhen)動 |
| 隔(ge)振(zhen)器(qi)尺寸（寬 x 深(shen) x 高(gao)） | 11.75 x 12.5 x 10.8英(ying)寸 300 x 320 x 275 mm |
| 隔(ge)振(zhen)器(qi)重(zhong)量 | 75磅（34千(qian)克(ke)） |
| 工作(zuo)溫(wen)度(du) | 50° - 90°F 10° - 32°C |
| 儲(chu)存溫(wen)度(du) | -40° - 130°F -40° - 55°C |
| 濕度 | 30 - 60% |
| 系統電源要(yao)求(qiu) | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE標準(zhun) |
| 地(di)面位(wei)移 | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
| 每個系(xi)統(tong)的隔(ge)振(zhen)器(qi)數(shu)量 | ***少(shao)3個 |
| 可(ke)選附(fu)件 | 層壓不(bu)銹鋼(gang)平(ping)臺、框(kuang)架、立(li)管、調(tiao)平(ping)裝置(zhi)、抗(kang)震裝置(zhi)、提(ti)升(sheng)罩(zhao) |
DC-2020控(kong)制器(qi)規格
| 尺寸（寬 x 深(shen) x 高(gao)） | 19 x 8.5 x 1.75英(ying)寸 483 x 216 x 45 mm |
| 重(zhong)量 | 6.3磅（2.9千(qian)克(ke)） |
| 處理(li)器(qi) | 150/75 MHz雙核 |
| 采樣(yang)率(lv) | 10 kHz |
| 模(mo)擬(ni)輸(shu)出(chu) | 16個通(tong)道(dao) |
| 模(mo)擬輸(shu)入(ru) | 16個通(tong)道(dao) |
| 狀(zhuang)態燈 | 單(dan)個LED |
| 前(qian)面板端口(kou) | 1個串(chuan)行(xing)USB 2.0 1個串(chuan)行(xing)Micro-USB 1個以(yi)太(tai)網(wang)RJ-45 2個BNC |
| 後(hou)面板端口(kou) | 1個串(chuan)行(xing)USB 2.0 1個以(yi)太(tai)網(wang)RJ-45 1個RS-232 DB-9傳統(tong)串(chuan)行(xing)，用(yong)於(yu)傳統(tong)的STACIS 2100隔(ge)振(zhen)器(qi) |
| 用(yong)戶界面 | 前面板液(ye)晶顯示屏(ping) 超級終端上(shang)的字(zi)符菜(cai)單(dan) 適用(yong)於(yu)Microsoft Windows的擴(kuo)展GUI 嵌入(ru)式以(yi)太(tai)網(wang)GUI |
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