主動(dong)消振(zhen)隔(ge)振(zhen)系(xi)統(tong)

主動(dong)消振(zhen)隔(ge)振(zhen)系(xi)統(tong)

TMC繼續(xu)在(zai)先進(jin)技術的基礎(chu)上開發(fa)新的(de)解決(jue)方(fang)案，以(yi)滿足半導體(ti)工具對(dui)其(qi)隔振(zhen)系(xi)統(tong)提(ti)出的(de)挑戰(zhan)性要(yao)求。Stage-Base 450是專為帶(dai)高(gao)精度(du)電動(dong)X-Y平(ping)臺的(de)**半(ban)導體(ti)工具而設(she)計(ji)的(de)主動(dong)消振(zhen)系(xi)統(tong)。這些(xie)工具不(bu)但(dan)需(xu)要(yao)極其(qi)有(you)效(xiao)的消振(zhen)性能，它們(men)還(hai)要(yao)求由(you)平(ping)臺引(yin)起(qi)的有(you)效(xiao)載荷(he)運動(dong)能夠非(fei)常(chang)快(kuai)速(su)地穩定(ding)，以(yi)**限(xian)度(du)地提(ti)高工具吞吐(tu)量。通(tong)過(guo)增加帶(dai)有(you)前饋(kui)控(kong)制(zhi)的VCM，可以(yi)縮短(duan)穩定(ding)時間，進壹步提(ti)高吞吐(tu)量，從而為移(yi)動(dong)平(ping)臺應用提(ti)供**先進(jin)的(de)主動(dong)振(zhen)動(dong)和(he)運動(dong)消除系(xi)統(tong)。

Stage-Base 450優勢(shi)

Stage-Base 450采用了(le)下壹代(dai)主動(dong)硬安(an)裝壓(ya)電(dian)消振(zhen)集成音圈技術。只有(you)TMC可以提(ti)供這種(zhong)**低(di)頻消振(zhen)串(chuan)行(xing)型(xing)技術，通(tong)過(guo)使(shi)用音圈電(dian)機(ji)（VCM），實(shi)現(xian)了主(zhu)動(dong)移(yi)動(dong)平(ping)臺運動(dong)消除。

Stage-Base 450下壹代(dai)主動(dong)控(kong)制(zhi)系(xi)統(tong)采用TMC的(de)STACIS技術。使用(yong)壓(ya)電(dian)致(zhi)動(dong)器和串(chuan)行(xing)式(shi)架(jia)構(gou)中的剛性懸架實(shi)現(xian)了**的(de)消振(zhen)。這實(shi)現(xian)了始(shi)於(yu)0.6 Hz的業內(nei)**地面隔振(zhen)，響應於(yu)平臺力(li)的(de)初(chu)始(shi)偏(pian)轉明(ming)顯更小。

規(gui)格

▪ 采用STACIS®技術

▪ 采用高(gao)力(li)、加長行(xing)程(cheng)的(de)壓(ya)電(dian)致(zhi)動(dong)器

▪ 有(you)效(xiao)載荷(he)的位(wei)置(zhi)可(ke)重復性在(zai)微米(mi)以(yi)內(nei)

▪ 框(kuang)架安(an)裝設(she)計(ji)

▪ 6個(ge)主動(dong)自由度(du)

▪ 可選(xuan)的(de)VCM前饋(kui)和(he)/或(huo)反(fan)饋(kui)

▪ 始(shi)於(yu)0.6 Hz的主動(dong)隔(ge)振(zhen)

▪ 響應平臺運動(dong)的(de)快速(su)穩定(ding)時間

▪ 無軟(ruan)空(kong)氣懸架

▪ 通(tong)過(guo)USB 2.0實(shi)現(xian)基於(yu)PC的圖(tu)形(xing)用(yong)戶(hu)界面（GUI）的高速(su)數(shu)字(zi)控(kong)制(zhi)器

▪ 簡(jian)單、堅固且(qie)經(jing)濟(ji)高效(xiao)

性能

主(zhu)動(dong)消振(zhen)隔(ge)振(zhen)系(xi)統(tong) 應用照片(pian)