SEM主動隔(ge)振平臺(tai)

SEM主(zhu)動隔(ge)振平臺(tai)

SEM Base LP是(shi)我們(men)的(de)標準(zhun)SEM Base主動(dong)壓電(dian)振動(dong)消(xiao)除(chu)平臺(tai)的(de)定制低(di)輪廓版(ban)本。SEM Base LP更易於(yu)安(an)裝，性(xing)能好，並經(jing)過人(ren)體工程學(xue)優化。緊(jin)湊的(de)設計(ji)便於(yu)安(an)裝，無(wu)需使(shi)用SEM內(nei)置(zhi)調平腳(jiao)以(yi)外(wai)的(de)任(ren)何(he)東西(xi)來(lai)提升(sheng)掃(sao)描電(dian)子(zi)顯(xian)微(wei)鏡（SEM）柱。而(er)且(qie)，壹(yi)旦安(an)裝，SEM在(zai)地板(ban)上方(fang)的(de)高度不(bu)會(hui)增加。SEM Base LP采(cai)用了我們(men)STACIS壓電(dian)技術，具有與我們(men)的(de)行業(ye)標準(zhun)SEM Base VI相同(tong)的(de)振動(dong)消(xiao)除(chu)性能。SEM Base LP包(bao)括(kuo)腳(jiao)輪，專門(men)設計用於(yu)與許(xu)多Thermo Fisher Scientific（前FEI）工具集(ji)成。

SEM Base LP如(ru)何(he)與工具底(di)部框架集(ji)成的(de)示例(li)

SEM主動(dong)隔(ge)振平臺(tai)

兼(jian)容(rong)Thermo Fisher工具型號

SEM Base LP與許多Thermo Fisher Scientific型號兼(jian)容(rong)，包(bao)括(kuo)：

▪ Apreo公(gong)司

▪ 阿奎洛斯(si)

▪ 太陽神(shen)小(xiao)型雙光(guang)束

▪ Nova納米SEM x50

▪ Quattro S系列

▪ Scios公(gong)司

▪ 特內奧(ao)

▪ Verios G4公(gong)司

▪ Verios 460、460升(sheng)

▪ Versa 3D

如(ru)果(guo)您的(de)SEM/FIB未列出，請聯(lian)系(xi)TMC檢(jian)查(zha)兼(jian)容(rong)性(xing)。

SEM基(ji)礎優勢(shi)

硬安(an)裝技術–SEM底(di)座與(yu)內(nei)部SEM振動(dong)控制系統兼(jian)容(rong)，並積(ji)極緩(huan)解0.6 Hz開始的(de)低(di)頻地板(ban)振動(dong)。

主(zhu)動慣性振動(dong)消(xiao)除(chu)–SEM Base使用高靈(ling)敏(min)度(du)、低(di)頻慣性速度傳感(gan)器(qi)實現(xian)高水平的(de)振動(dong)衰(shuai)減，即使在(zai)安(an)靜(jing)的(de)地板(ban)上也是(shi)如(ru)此。

采(cai)用壓電(dian)技術的(de)串行設計–串行設計和(he)專(zhuan)有的(de)高壓壓電(dian)技術可實現(xian)從(cong)0.6 Hz到(dao)150 Hz的(de)寬有源帶(dai)寬(kuan)和(he)慣性主動振動(dong)消(xiao)除(chu)，從(cong)2 Hz開始減少90%。