氣(qi)浮綜合性(xing)主動隔(ge)振(zhen)系統

氣(qi)浮綜合性(xing)主動隔(ge)振(zhen)系統

LaserTable-Base™是(shi)現(xian)有(you)光學平(ping)臺隔振(zhen)技(ji)術的(de)壹大飛(fei)躍。通(tong)常(chang)，光學平(ping)臺由低(di)頻氣(qi)動隔振(zhen)系統支(zhi)撐。雖然(ran)在隔(ge)離(li)高(gao)頻方面(mian)非常有(you)效，但這(zhe)些被(bei)動系統實(shi)際上放(fang)大(da)了關鍵(jian)的(de)1至3 Hz範圍(wei)內(nei)的(de)振(zhen)動。

TMC的(de)STACIS通(tong)過(guo)結合壓電(dian)致動(dong)器(qi)和慣性(xing)振(zhen)動(dong)傳(chuan)感(gan)器的(de)專(zhuan)有(you)技(ji)術克服了這(zhe)些限(xian)制(zhi)，可(ke)消(xiao)除而不(bu)會(hui)放大極低(di)頻振動(dong)。LaserTable-Base將(jiang)這(zhe)兩(liang)項(xiang)技(ji)術（空(kong)氣(qi)和STACIS）整(zheng)合到壹個(ge)集成(cheng)的(de)消(xiao)振系統中(zhong)。由於(yu)兩(liang)個(ge)串(chuan)聯隔(ge)振系統的(de)綜合效應(ying)，這(zhe)實現(xian)了低(di)頻率(lv)消(xiao)振和**的(de)高(gao)頻隔振(zhen)水平(ping)。

LaserTable-Base的(de)上(shang)部(bu)氣(qi)動部(bu)分采(cai)用(yong)模塊(kuai)化設計，可(ke)互(hu)換(huan)。它可(ke)以(yi)結(jie)合TMC的(de)Gimbal Piston、MaxDamp空(kong)氣(qi)隔振器(qi)或剛性(xing)、非隔振支架(jia)，具體(ti)取(qu)決於(yu)應(ying)用要求(qiu)。

規(gui)格(ge)

▪ 采(cai)用(yong)STACIS®技(ji)術

▪ 主動慣(guan)性(xing)消(xiao)振(zhen)系統

▪ 消(xiao)振從低(di)於(yu)1 Hz開始

▪ 加長(chang)行(xing)程(cheng)的(de)壓電(dian)致動(dong)器(qi)，高(gao)達(da)60微(wei)米。

▪ 6個(ge)主動自(zi)由度(du)

▪ 由兩(liang)個(ge)串(chuan)聯隔(ge)振系統組(zu)成(cheng)，可(ke)實(shi)現(xian)**隔振(zhen)效果

▪ 采(cai)用(yong)MaxDamp®空(kong)氣(qi)隔振器(qi)

▪ 簡單(dan)、堅固且經(jing)濟高(gao)效

▪ 可(ke)選(xuan)的(de)擱(ge)板(ban)，用於(yu)在工(gong)作(zuo)臺下方(fang)安(an)裝(zhuang)設備(bei)

▪ 包(bao)括(kuo)TMC的(de)DC-2020數(shu)字(zi)控制器

性(xing)能(neng)

將(jiang)低(di)頻、被(bei)動MaxDamp®空(kong)氣(qi)隔振器(qi)與壓電(dian)主動消(xiao)振(zhen)系統串(chuan)聯在(zai)壹起，可(ke)得(de)到(dao)整(zheng)體(ti)傳(chuan)遞率(lv)曲線(xian)，即(ji)兩(liang)條(tiao)單(dan)獨(du)傳(chuan)遞率(lv)曲線(xian)的(de)總(zong)和。由此產生(sheng)的(de)隔(ge)振性(xing)能(neng)非常顯(xian)著，在(zai)某些(xie)頻率(lv)範圍(wei)內(nei)，我(wo)們(men)受到(dao)測(ce)量儀器噪聲基(ji)底(di)的(de)限(xian)制(zhi)。並(bing)且無(wu)法(fa)測量(liang)和演示(shi)完整(zheng)的(de)隔(ge)振性(xing)能(neng)。也就(jiu)是(shi)說，在(zai)10-12 Hz以(yi)上(shang)，組(zu)合系統的(de)實(shi)際性(xing)能(neng)預(yu)計(ji)將超過(guo)所示性(xing)能(neng)，因(yin)為(wei)組合隔振理論(lun)上(shang)是(shi)兩(liang)個(ge)子(zi)系統所(suo)提(ti)供的(de)隔(ge)振的(de)總(zong)和。

氣(qi)浮綜合性(xing)主動隔(ge)振(zhen)系統 應(ying)用照(zhao)片(pian)