高性能氣動(dong)隔振(zhen)工作(zuo)臺

全不(bu)銹(xiu)鋼TMC ClassOne™工作(zuo)站是壹款高性能氣動(dong)隔振(zhen)工作(zuo)臺，設計(ji)安(an)裝(zhuang)在地面(mian)上(shang)，可實(shi)現(xian)**的(de)潔凈室(shi)兼(jian)容(rong)性(xing)。隔振(zhen)性能由(you)相(xiang)同(tong)的(de)Gimbal Piston™元(yuan)件提(ti)供(gong)，它還(hai)可為(wei)光學(xue)平臺、電子(zi)顯微鏡、精密(mi)天(tian)平(ping)和掃描隧道(dao)顯(xian)微鏡提(ti)供(gong)**的(de)隔(ge)振性(xing)能。

ClassOne工作站用(yong)潤濕酒(jiu)精的(de)無(wu)絨(rong)布(bu)進行了擦拭，並在出廠(chang)前(qian)用(yong)塑(su)料(liao)進行雙層(ceng)包(bao)裹(guo)。

Gimbal Piston隔振器(qi)

所(suo)有CleanBench工(gong)作(zuo)臺均采用(yong)TMC的(de)Gimbal Piston空(kong)氣隔(ge)振(zhen)器(qi)作(zuo)為標準配置(zhi)。在並(bing)排(pai)測試中，Gimbal Piston的(de)性(xing)能壹直優於其他(ta)空(kong)氣(qi)隔(ge)振器(qi)。它在(zai)所(suo)有軸上(shang)都(dou)有出(chu)色(se)的(de)低(di)頻隔(ge)振(zhen)性(xing)能，即(ji)使在(zai)極低的(de)輸(shu)入(ru)激勵水(shui)平(ping)下也能保(bao)持其性(xing)能規(gui)格。專(zhuan)有的(de)減(jian)振技(ji)術使Gimbal Piston能夠穩(wen)定(ding)上(shang)重下輕的(de)有效(xiao)載荷，並能迅(xun)速消除隔(ge)振(zhen)臺面的(de)幹(gan)擾。

優點(dian)

▪ 從(cong)2 Hz開始(shi)的(de)垂直和(he)水(shui)平(ping)隔(ge)振(zhen)

▪ 在10 Hz時(shi)振動(dong)減(jian)少95％以上(shang)

▪ 幾乎(hu)無(wu)摩擦，避免了(le)滾動(dong)摩擦向靜摩(mo)擦過渡(du)

▪ 通(tong)過充當(dang)萬(wan)向節(jie)來調整(zheng)水(shui)平(ping)位移

▪ 即(ji)使是(shi)**低輸(shu)入(ru)水(shui)平(ping)，Gimbal Piston®空(kong)氣(qi)隔振器(qi)也可(ke)在各個(ge)方(fang)向上(shang)提(ti)供(gong)出(chu)色(se)的(de)隔(ge)振性(xing)能。它具(ju)有輕(qing)微的(de)阻(zu)尼(ni)特(te)性(xing)，對典(dian)型(xing)的(de)低(di)振幅(fu)環(huan)境地面(mian)振(zhen)動(dong)具有高響(xiang)應性(xing)，而(er)對於嚴重(zhong)的(de)瞬態幹(gan)擾（例(li)如(ru)突然的(de)負載變(bian)化(hua)或頂板(ban)撞擊(ji)），它可(ke)實(shi)現(xian)非常好(hao)的(de)減(jian)振效(xiao)果。結(jie)果表明，Gimbal Piston隔振(zhen)器(qi)可(ke)提(ti)供(gong)**的(de)隔(ge)振效(xiao)果，幾(ji)乎(hu)可(ke)以在幾(ji)秒鐘(zhong)內(nei)消除任(ren)何嚴重(zhong)幹(gan)擾。它還(hai)可以穩定(ding)具(ju)有相(xiang)對(dui)較高重心(xin)的(de)隔(ge)振系(xi)統(tong)，而(er)不會影(ying)響(xiang)隔振效(xiao)果。

低(di)振(zhen)幅(fu)輸(shu)入(ru)響(xiang)應

在設計(ji)有效(xiao)的(de)隔(ge)振器(qi)時(shi)，所遇(yu)到的(de)**挑戰是在(zai)周圍(wei)建築(zhu)地面(mian)振(zhen)動(dong)的(de)典(dian)型低(di)振(zhen)動(dong)幅(fu)度輸入(ru)下保(bao)持良好性能。隔振器(qi)規(gui)格通(tong)常基(ji)於將隔振器(qi)放置(zhi)在振(zhen)幅(fu)輸(shu)入(ru)水(shui)平(ping)非(fei)常高的(de)“振(zhen)動(dong)臺"上(shang)進行的(de)測(ce)量(liang)。這(zhe)種(zhong)輸(shu)入(ru)振幅(fu)約(yue)為(wei)毫(hao)米(mi)的(de)測(ce)試會導致對(dui)性能的(de)估(gu)計(ji)不(bu)切實(shi)際，並(bing)且(qie)具有誤(wu)導性，因(yin)為結(jie)果不(bu)能反映實(shi)際使(shi)用(yong)中(zhong)的(de)性(xing)能。

Gimbal Piston隔振器(qi)設計(ji)的(de)**之(zhi)處(chu)在於即(ji)使在(zai)**安(an)靜、真實(shi)的(de)地面(mian)環(huan)境中也能保(bao)持其規(gui)定(ding)的(de)共(gong)振頻(pin)率和(he)高水(shui)平(ping)的(de)衰(shuai)減(jian)量(liang)。這(zhe)種(zhong)性(xing)能與(yu)如(ru)此低的(de)振(zhen)幅(fu)成(cheng)線(xian)性(xing)關系，因(yin)為設計(ji)幾(ji)乎(hu)沒有摩(mo)擦，因(yin)此能夠避免滾動(dong)摩擦到靜摩擦過渡(du)。

我(wo)們在典(dian)型的(de)地面(mian)振(zhen)動(dong)水(shui)平(ping)下測試的(de)所(suo)有其他(ta)系(xi)統(tong)要(yao)麽(me)比聲稱(cheng)的(de)共(gong)振頻(pin)率高，要麽(me)通過(guo)隔振器(qi)支(zhi)架的(de)傳(chuan)輸大(da)幅(fu)增(zeng)加(jia)。

我們(men)強(qiang)調性(xing)能規(gui)格在(zai)低輸入(ru)水(shui)平(ping)的(de)重(zhong)要性(xing)，因(yin)為我(wo)們在自己的(de)測(ce)試和許(xu)多使(shi)用(yong)過(guo)的(de)設備(bei)中反復(fu)觀(guan)察到，在更大(da)的(de)振(zhen)幅(fu)和(he)更(geng)高的(de)頻(pin)率下更容(rong)易(yi)實(shi)現(xian)更好(hao)的(de)性(xing)能。

水(shui)平(ping)與(yu)垂直輸(shu)入(ru)

我們(men)創新(xin)的(de)隔(ge)振器(qi)可(ke)以充當(dang)萬(wan)向節(jie)，使薄(bo)壁滾動(dong)密封膜(mo)片能夠適(shi)應水(shui)平(ping)位移。Gimbal Piston隔(ge)振(zhen)器(qi)未(wei)使用(yong)電纜式(shi)鐘(zhong)擺(bai)懸架，而(er)是(shi)將載荷放在(zai)壹(yi)個單獨的(de)頂板(ban)上(shang)，該頂板(ban)上(shang)有壹(yi)根向下伸入(ru)到主(zhu)活(huo)塞(sai)井內(nei)的(de)剛(gang)性桿(gan)。桿(gan)的(de)底(di)部(bu)有壹(yi)個(ge)支(zhi)撐(cheng)在堅硬(ying)、平(ping)坦底(di)座(zuo)上(shang)的(de)球形(xing)端部(bu)。由(you)於球在底(di)座(zuo)上(shang)非常輕(qing)微地搖(yao)動(dong)（無滑(hua)動(dong)或滾動(dong)），因(yin)此，固(gu)有的(de)柔(rou)性聯軸器(qi)可(ke)在隔振器(qi)中(zhong)水(shui)平(ping)彎曲。即(ji)使輸(shu)入(ru)位移在(zai)微英(ying)寸以下水(shui)平(ping)，該(gai)方(fang)法也非(fei)常有效(xiao)，因(yin)為靜(jing)摩擦幾乎(hu)與(yu)滾動(dong)摩擦相(xiang)同(tong)。水(shui)平(ping)運(yun)動(dong)只是(shi)轉換(huan)為通常的(de)垂直膜(mo)片彎曲，但(dan)不同(tong)相(xiang)：活(huo)塞(sai)的(de)壹(yi)側(ce)向上(shang)，另(ling)壹側(ce)向下，以萬(wan)向節(jie)式(shi)運(yun)動(dong)。

其他(ta)類(lei)型(xing)隔(ge)振器(qi)的(de)局(ju)限性

厚(hou)壁(bi)橡(xiang)膠(jiao)膜片。大(da)多數(shu)商用(yong)隔(ge)振(zhen)器(qi)在(zai)活(huo)塞(sai)中采用(yong)廉(lian)價的(de)厚(hou)壁橡(xiang)膠(jiao)膜片來(lai)實(shi)現(xian)垂直隔(ge)振。由(you)於這(zhe)些(xie)元件(jian)的(de)相(xiang)對(dui)不(bu)靈(ling)活(huo)性(xing)，低振(zhen)幅(fu)隔(ge)振(zhen)性(xing)能不太(tai)理想。雖然這種系統(tong)用(yong)手(shou)感(gan)覺(jiao)起(qi)來(lai)較“柔(rou)軟(ruan)"，但(dan)對於典(dian)型(xing)的(de)低(di)水(shui)平(ping)地面(mian)振(zhen)動(dong)，橡(xiang)膠(jiao)更像(xiang)是壹(yi)個剛(gang)性(xing)聯軸器(qi)而(er)並非柔(rou)性隔振器(qi)。

密(mi)封氣(qi)動(dong)隔振(zhen)器(qi)（被(bei)動(dong)）。密封空(kong)氣(qi)隔(ge)振(zhen)器(qi)不(bu)會自動(dong)根據(ju)負載變(bian)化(hua)進行調整(zheng)。這(zhe)種(zhong)系(xi)統的(de)主(zhu)要局限性在(zai)於，它們(men)太(tai)硬(ying)而(er)不能有效(xiao)地隔(ge)振(zhen)。例(li)如(ru)，壹個真正1.5 Hz共振頻(pin)率的(de)被(bei)動(dong)隔振(zhen)器(qi)在(zai)負載、溫(wen)度或壓力發(fa)生微小(xiao)變(bian)化(hua)時(shi)會垂直漂(piao)移幾(ji)英(ying)寸，並(bing)且(qie)需要不斷的(de)手(shou)動(dong)調整(zheng)。因(yin)此，實(shi)際密(mi)封隔(ge)振(zhen)器(qi)並(bing)沒有這(zhe)壹(yi)設計(ji)的(de)低(di)共振(zhen)頻(pin)率。

軸承(cheng)滑(hua)板(ban)。 理論上(shang)，軸承(cheng)滑(hua)板(ban)可通(tong)過(guo)其解(jie)耦(ou)效(xiao)應實(shi)現(xian)水(shui)平(ping)隔(ge)振(zhen)。實(shi)際上(shang)，如(ru)果要(yao)讓(rang)這(zhe)種(zhong)設計(ji)在(zai)低(di)振幅(fu)下工作(zuo)，就需要公差(cha)很小(xiao)、經過(guo)精密(mi)磨削(xue)的(de)硬(ying)化(hua)軸承(cheng)。現(xian)有的(de)商用(yong)版(ban)本(ben)不(bu)能克服低(di)振幅(fu)下的(de)靜(jing)摩擦力以使軸承(cheng)滾動(dong)。此外(wai)，所(suo)有這(zhe)些(xie)系統(tong)**初都(dou)很難對(dui)齊，並且(qie)很容(rong)易(yi)偏(pian)離(li)校準範圍(wei)。

自制組(zu)裝(zhuang)。 自制隔(ge)振(zhen)系(xi)統 - 通常是(shi)放置(zhi)在橡(xiang)膠(jiao)墊、網球或氣(qi)囊(nang)上(shang)的(de)鋼板(ban)或花崗巖板(ban) - 只有在(zai)幹(gan)擾振(zhen)動(dong)頻率高且(qie)需要**小(xiao)隔振(zhen)的(de)情(qing)況(kuang)下才(cai)能工作。雖(sui)然所有隔(ge)振(zhen)器(qi)都(dou)使用(yong)在(zai)阻(zu)尼(ni)彈簧上(shang)放置(zhi)質(zhi)量(liang)的(de)原理，但(dan)它們(men)的(de)性(xing)能主(zhu)要通過(guo)彈(dan)簧(huang)剛(gang)度來區分(fen)：彈(dan)簧(huang)越(yue)硬(ying)，共(gong)振頻率越(yue)高。因(yin)此，自(zi)制解(jie)決(jue)方(fang)案受(shou)到其高共振(zhen)頻(pin)率的(de)限制。

具(ju)有1.5 Hz垂直共(gong)振頻率的(de)Gimbal Piston™隔(ge)振器(qi)在(zai)2 Hz時(shi)開始(shi)隔(ge)振(zhen)，並可在(zai)10 Hz時(shi)將振動(dong)降(jiang)低95％以上(shang)。具有7 Hz共(gong)振(zhen)頻率的(de)鋼板(ban)下的(de)網球在10 Hz以上(shang)開始(shi)隔振並在30 Hz時(shi)將振動(dong)減(jian)小(xiao)90％。但(dan)是大(da)多數(shu)建築(zhu)物(wu)地面(mian)在(zai)5到30 Hz之(zhi)間表現(xian)出**高的(de)振(zhen)動(dong)位移，因(yin)此網球或橡(xiang)膠(jiao)墊通過(guo)放大(da)5到10 Hz之(zhi)間的(de)環(huan)境頻率實(shi)際上(shang)會使問(wen)題(ti)變(bian)得更(geng)加(jia)嚴重(zhong)。

高性能氣動(dong)隔振(zhen)工作(zuo)臺 規(gui)格

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