SEM主(zhu)動(dong)隔振平臺

SEM主(zhu)動(dong)隔振平臺

SEM-Base® VI是(shi)下(xia)壹代STACIS主(zhu)動(dong)壓電(dian)消(xiao)振產(chan)品。SEM-Base VI被(bei)設(she)計用(yong)於(yu)支撐(cheng)所(suo)有(you)商用(yong)掃(sao)描電(dian)子(zi)顯(xian)微(wei)鏡(jing)（SEM）以(yi)及許多聚(ju)焦離(li)子束（FIB）和小型(xing)雙(shuang)光(guang)束儀器。SEM-Base VI具(ju)有(you)更(geng)好(hao)的隔(ge)振(zhen)性能(neng)、更(geng)快(kuai)、更(geng)強大(da)的控(kong)制器和**圖形(xing)用(yong)戶界面(mian)（GUI）。SEM-Base VI使許多實驗(yan)室(shi)和設施(shi)達(da)到了滿(man)足(zu)工具(ju)制造商規格(ge)所(suo)需的(de)地(di)面(mian)振(zhen)動(dong)水(shui)平。 

SEM-Base VI采用(yong)“串行(xing)結(jie)構(gou)"，其中的振(zhen)動(dong)傳感(gan)器測(ce)量(liang)地(di)面(mian)振(zhen)動(dong)，而不(bu)是(shi)有(you)效載荷(he)振(zhen)動(dong)。與其他(ta)設計不(bu)同(tong)，這確(que)保(bao)了(le)有(you)效載荷(he)共振不(bu)會(hui)限(xian)制隔振或(huo)造成不(bu)穩(wen)定(ding)。振動(dong)傳感(gan)器是(shi)低頻慣(guan)性速(su)度傳感(gan)器，在(zai)難以測(ce)量(liang)的亞(ya)Hz範圍內(nei)具(ju)有(you)**靈敏度。結(jie)合(he)壓電(dian)致(zhi)動(dong)器技(ji)術，SEM-Base VI即使在(zai)安(an)靜(jing)的(de)地(di)面(mian)上(shang)也(ye)能(neng)實現高的(de)消(xiao)振水(shui)平。 

SEM-Base VI可(ke)提(ti)供(gong)與(yu)以前(qian)型(xing)號(hao)平(ping)均高6 dB的(de)隔(ge)振(zhen)。此外(wai)，TMC的下(xia)壹代控制(zhi)器DC-2020采用(yong)了(le)新(xin)的(de)雙(shuang)核處理器，為工具(ju)所(suo)有(you)者(zhe)和研究人(ren)員提(ti)供(gong)了(le)壹個(ge)非(fei)常(chang)簡單易用(yong)的(de)圖形(xing)界面(mian)，可(ke)實現快(kuai)速(su)系統(tong)評(ping)估(gu)和安(an)全(quan)操作(zuo)。通過以(yi)太網(wang)連(lian)接(jie)時(shi)，DC-2020將在(zai)用(yong)戶的(de)瀏(liu)覽(lan)器中創建(jian)SEM-Base GUI，無(wu)需安(an)裝其他(ta)軟(ruan)件(jian)或(huo)應(ying)用(yong)程(cheng)序。此外(wai)，用(yong)戶也(ye)可(ke)以(yi)通過板(ban)載菜(cai)單驅動(dong)的液晶(jing)顯(xian)示(shi)器（LCD）與(yu)控制器連(lian)接(jie)。

註(zhu)意(yi)：請(qing)參見SEM-Closure，這是(shi)壹種專(zhuan)為保(bao)護(hu)SEM而(er)設(she)計的整(zheng)體環境(jing)解(jie)決方(fang)案。它(ta)可(ke)以(yi)將(jiang)SEM-Base和Mag-NetX® 固定(ding)在壹(yi)個密(mi)封(feng)和溫控聲學(xue)室(shi)中 - 從(cong)而(er)保(bao)護(hu)SEM免(mian)受(shou)振(zhen)動(dong)、磁(ci)場(chang)幹(gan)擾和聲學(xue)噪聲的(de)影響。

SEM-Base VI的(de)優(you)勢

硬(ying)安(an)裝技術 - SEM-Base VI與所(suo)有(you)內(nei)部(bu)SEM振動(dong)控制系統(tong)兼容，可(ke)以(yi)從(cong)0.6 Hz開(kai)始主(zhu)動(dong)減輕低頻地(di)面(mian)振(zhen)動(dong)。

主(zhu)動(dong)慣(guan)性振(zhen)動(dong)消(xiao)除(chu) - SEM-Base VI使用(yong)高靈敏度、低頻慣(guan)性速(su)度傳感(gan)器，即(ji)使在(zai)安(an)靜(jing)的(de)地(di)面(mian)上(shang)也(ye)能(neng)實現高水(shui)平的(de)振動(dong)衰減。 

采用(yong)壓電(dian)技(ji)術的串行(xing)設(she)計 - 串行(xing)設(she)計和專有(you)的(de)高力(li)壓電(dian)技(ji)術可(ke)實現0.6 Hz***150 Hz的(de)寬主(zhu)動(dong)帶寬和從(cong)2 Hz開(kai)始減振90％的**慣(guan)性主(zhu)動(dong)振動(dong)消(xiao)除(chu)性能(neng)。

集(ji)成式(shi)的單平臺設(she)計 - SEM-Base VI設計與制(zhi)造的集(ji)成化(hua)，將(jiang)安(an)裝平臺的(de)工作簡化(hua)到(dao)了**，簡單的定(ding)位與設置(zhi)之後即可(ke)正(zheng)常(chang)工作。

NOTE：可(ke)選SEM-Closure，專門(men)設計用(yong)於(yu)保(bao)護(hu)SEM的(de)完(wan)整(zheng)環境(jing)解(jie)決方(fang)案。在(zai)SEM- Closure密(mi)封(feng)隔(ge)音室(shi)內(nei)可(ke)兼顧(gu)放(fang)置(zhi) SEM-Base VI與Mag-Net X，保(bao)護(hu)SEM免(mian)除(chu)振動(dong)、磁(ci)場(chang)擾動(dong)與聲波(bo)噪音的(de)影(ying)響。

SEM主(zhu)動(dong)隔振平臺 產(chan)品特(te)點

▪ STACIS**技(ji)術

▪ 主(zhu)動(dong)慣(guan)性振(zhen)動(dong)清除(chu)系統(tong)

▪ 895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)適(shi)合(he)絕大(da)多數(shu)商業SEM

▪ 負載能(neng)力(li)：408-1134kg (900-2500 lb.)

▪ 隔振(zhen)效率1Hz:40-70% 

▪ 隔(ge)振效率經2Hi:90% 

▪ 隔(ge)振效率＞3Hz:90-98%

▪ 6個(ge)主(zhu)動(dong)自(zi)由度

▪ 安(an)裝容易(yi)，調(tiao)試簡單

▪ 兼容所(suo)有(you)設(she)備(bei)內(nei)直(zhi)的振(zhen)動(dong)隔離(li)系統(tong)

▪ 電(dian)源(yuan)：100-240VAC, 50/60Hz, <600W

▪ 是(shi)否(fou)需要(yao)空(kong)氣：非(fei)氣浮系(xi)統(tong)

▪ CE與(yu)RoHS認(ren)證

▪ 集(ji)成式(shi)的單平臺設(she)計

▪ 可(ke)安(an)裝腳輪，輕松(song)便攜(xie)移(yi)動(dong)，無需搬(ban)運(yun)

▪ 兼容SEM-lift系(xi)統(tong)

規格(ge)

性能(neng)規格(ge)

設(she)計、尺寸(cun)、環境(jing)和效用(yong)要(yao)求(qiu)

內(nei)置(zhi)控制(zhi)器規格(ge)

性能(neng)

使用(yong)VC-C（500 μ英(ying)寸(cun)/秒(miao)，12.5 μ米/秒(miao) RMS）的(de)模擬(ni)振(zhen)動(dong)來測(ce)試(shi)1800磅(bang)（818千(qian)克）有(you)效載荷(he)