地(di)面式(shi)主(zhu)動(dong)隔振(zhen)平(ping)臺

地(di)面式(shi)主(zhu)動(dong)隔振(zhen)平(ping)臺

半導體(ti)制(zhi)造工廠、納米技(ji)術中心(xin)、納米(mi)工廠和(he)其他(ta)精密制(zhi)造和(he)研(yan)究(jiu)中心(xin)通(tong)常(chang)將(jiang)潔(jie)凈(jing)室與(yu)活(huo)動(dong)假地(di)面系統結合(he)在壹起，以(yi)滿(man)足(zu)復(fu)雜(za)的設施要求(qiu)（管道(dao)、電(dian)纜(lan)、燃(ran)氣(qi)管(guan)道(dao)等）和(he)保(bao)持嚴(yan)格(ge)的清(qing)潔(jie)標(biao)準(zhun)。這(zhe)種地(di)面不適(shi)用於對振(zhen)動(dong)敏(min)感的(de)生產(chan)、檢測(ce)和(he)計量(liang)設(she)備(bei)。活(huo)動(dong)地面無法為(wei)這(zhe)些工具(ju)提(ti)供(gong)必要(yao)的(de)安靜(jing)振(zhen)動(dong)環境(jing)。TMC的(de)Quiet Island用壹個固(gu)定(ding)在下面底(di)層地面上的(de)“安靜島"替換壹部(bu)分活(huo)動(dong)地面區域(yu)，提(ti)供(gong)了壹種創新的(de)解決(jue)方案(an)。Quiet Island包括(kuo)壹(yi)個兼容潔(jie)凈(jing)室的(de)平(ping)臺頂部(bu)和(he)壹個應用和(he)現場(chang)特定的支撐結構。

消(xiao)振(zhen)

Quiet Island**的(de)主(zhu)要支(zhi)撐元件和(he)核心(xin)技(ji)術都集(ji)成(cheng)在(zai)STACIS III主(zhu)動(dong)消振(zhen)系統中。這(zhe)種“剛(gang)性(xing)"式(shi)慣性(xing)消(xiao)振(zhen)支(zhi)撐系統是任何振(zhen)動(dong)敏(min)感型(xing)儀器(qi)的理想選(xuan)擇，它(ta)使(shi)此(ci)類(lei)工具(ju)能(neng)夠在嘈雜(za)的環境(jing)中以(yi)**高標(biao)準(zhun)運(yun)行。STACIS III兼容自動(dong)化晶(jing)圓加(jia)工工具(ju)、高(gao)分辨率電(dian)子(zi)束成(cheng)像(xiang)工具(ju)、離子(zi)束銑削(xue)工具(ju)以(yi)及任何帶(dai)有(you)被(bei)動(dong)或主(zhu)動(dong)內部(bu)隔振(zhen)系統的工具(ju)。此(ci)外(wai)，它還提(ti)供(gong)了**寬頻(pin)率範(fan)圍(wei)內(nei)的(de)**隔振(zhen)性(xing)能(neng)。並且“硬(ying)安(an)裝"設(she)計非(fei)常(chang)堅硬(ying)，因(yin)此(ci)對於較(jiao)高、上(shang)重(zhong)下(xia)輕的(de)工具(ju)，不會(hui)出(chu)現(xian)穩定(ding)性(xing)問(wen)題(ti)。

立管(guan)和(he)支架(jia)

用於支(zhi)撐STACIS隔振(zhen)器(qi)的極其堅(jian)固(gu)耐(nai)用的立(li)管(guan)由TMC經(jing)驗豐富(fu)的工程團(tuan)隊(dui)設(she)計，並由我(wo)們(men)的ISO 9001工廠按(an)照高(gao)標(biao)準(zhun)和(he)焊接(jie)認證規(gui)格制(zhi)造。每(mei)個Quiet Island都經(jing)過(guo)精(jing)心(xin)設計，適(shi)合(he)各種活(huo)動(dong)地面高度(du)、底(di)層地面幾(ji)何形狀(zhuang)和(he)工具(ju)尺(chi)寸。TMC在(zai)全球安裝了數千個支(zhi)撐200多種不同(tong)儀器(qi)型(xing)號(hao)的裝置(zhi)，擁(yong)有(you)豐富(fu)的知識和(he)經驗(yan)，可以(yi)設計滿(man)足(zu)STACIS和(he)您設施需(xu)求的支(zhi)撐結構。

剛性(xing)平(ping)臺

該平(ping)臺由壹(yi)個經(jing)TMC設(she)計和(he)制(zhi)造的4英(ying)寸（100毫(hao)米(mi)）厚(hou)的(de)鋼(gang)板(ban)夾層組(zu)成(cheng)，其(qi)中鋼板(ban)夾在(zai)壹(yi)種輕質(zhi)、不可(ke)壓(ya)縮、阻尼的(de)芯(xin)材(cai)料(liao)周圍(wei)。剛(gang)性(xing)鋼(gang)板(ban)和(he)芯(xin)用環氧樹(shu)脂(zhi)粘(zhan)合(he)到(dao)壹個無(wu)縫(feng)不銹(xiu)鋼(gang)盤中的分層效果提(ti)供(gong)了*高的(de)剛度(du)和(he)結構阻尼。大(da)橫截(jie)面和(he)鋼含(han)量(liang)產(chan)生了非常(chang)高的(de)整體(ti)剛度。頂(ding)部(bu)和(he)側面是壹(yi)個連(lian)續的(de)壹體(ti)式(shi)不銹(xiu)鋼(gang)外(wai)殼，以(yi)保(bao)持清(qing)潔(jie)、美觀(guan)和(he)完整(zheng)性(xing)。TMC可(ke)根據需(xu)要設計和(he)制(zhi)造特定於應用的平(ping)臺，包括(kuo)切(qie)口、特(te)殊(shu)形狀(zhuang)、固(gu)定(ding)孔和(he)吊環螺(luo)栓(shuan)。

地面式(shi)主(zhu)動(dong)隔振(zhen)平(ping)臺

Quiet Island的優(you)勢(shi)

采(cai)用STACIS - TMC業(ye)界**的主(zhu)動(dong)壓(ya)電(dian)消(xiao)振(zhen)技(ji)術、“硬安裝"設(she)計和(he)始於0.6 Hz的(de)隔振(zhen)與(yu)內置隔振(zhen)器(qi)的工具(ju)兼容。

模塊化、定(ding)制(zhi)和(he)重新(xin)定位的靈(ling)活(huo)性(xing) - 每(mei)個平(ping)臺都根據客(ke)戶的(de)應用量(liang)身(shen)定(ding)做，但與混(hun)凝(ning)土平(ping)臺不同(tong)，如果工具(ju)或地面特性(xing)發(fa)生變(bian)化(hua)，這(zhe)些平(ping)臺可以(yi)很容易(yi)地(di)重新(xin)進(jin)行配置。

專(zhuan)業(ye)知識 - TMC擁(yong)有(you)與**的(de)半導體(ti)制(zhi)造商、科研(yan)機構和(he)超(chao)精密(mi)OEM合(he)作的豐富(fu)經驗。我(wo)們(men)了解客(ke)戶及(ji)其需(xu)求。我(wo)們(men)自己(ji)設計和(he)制(zhi)造。

性(xing)能(neng)

在(zai)24英(ying)寸高(gao)、40英(ying)寸 x 60英(ying)寸的(de)Quiet Island、4座STACIS支架(jia)上、
來(lai)自地(di)面的VC-C輸(shu)入(ru)下(xia)測量(liang)傳(chuan)遞率

其(qi)他Quiet Island配置

不具(ju)有(you)環境(jing)振(zhen)動(dong)規格(ge)的大(da)型(xing)儀器(qi)通(tong)常(chang)需(xu)要壹個與(yu)活(huo)動(dong)地面分開(kai)的(de)剛(gang)性(xing)且(qie)穩(wen)定的(de)支架(jia)。剛性(xing)Quiet Island是(shi)理想的(de)解決(jue)方案(an)。剛性(xing)Quiet Island具(ju)有(you)相同(tong)的高性(xing)能(neng)平(ping)臺頂部(bu)，也(ye)可(ke)為(wei)任何高(gao)度(du)、任何底(di)層地面幾(ji)何形狀(zhuang)的活(huo)動(dong)地面潔(jie)凈(jing)室以(yi)及各種工具(ju)尺(chi)寸定(ding)制(zhi)設(she)計。TMC提(ti)供(gong)壹系列不同(tong)類(lei)型(xing)的(de)支柱，以(yi)滿(man)足(zu)各種需(xu)求，從(cong)而(er)形成(cheng)了特定(ding)於儀器(qi)和(he)工廠的模塊化、可(ke)靈(ling)活(huo)地(di)重(zhong)新(xin)定(ding)位(wei)和(he)升級(ji)的(de)解決(jue)方案(an)。

應用照片